有限会社クリーンウェイ

有限会社クリーンウェイは、広島県広島市佐伯区五日市町大字下河内に位置する企業です。この企業は、半導体製造向けの搬送システムや保管システムを提供しており、特にクリーンルーム用搬送システム「クリーンウェイ」が半導体工場で広く利用されています。このシステムは、ウエハを密閉容器に格納し、自動で搬送を行うことで、粉塵の発生を最小限に抑える工夫がなされています。

また、クリーンウェイは、半導体の微細化に対応する窒素パージ式の保管システムも提供しています。このシステムは、酸化防止のための窒素を充填することで、半導体の品質を高めることを目的としています。

この企業は、半導体製造の効率化と生産性向上を追求しており、システムの運用やソフトウェアの開発にも力を入れています。例えば、クリーンウェイは、非接触給電搬送システム「HID」を使用して、摩耗による粉塵の発生を抑えています。